Treffer: Process control in low pressure capacitive radio frequency plasmas based on kinetic simulations
Titel:
Process control in low pressure capacitive radio frequency plasmas based on kinetic simulations / Li Wang ; Gutachter: Julian Schulze, Zoltan Donko ; Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Veröffentlicht:
Bochum : Ruhr-Universität Bochum, 2024
Umfang:
1 Online-Ressource
Format:
Sprache:
Englisch
Hochschulschrift:
Dissertation, Bochum, Ruhr-Universität Bochum, 2023
Schlagworte: