Treffer: Epitaxial growth of highly textured ZnO thin films on Si using an AlN buffer layer by atomic layer deposition

Titel:

Beteiligt:

Veröffentlicht:

Freiburg : Universität, 2021

Umfang:

1 Online-Ressource

Format:

E-Book

Sprache:

Englisch

Anmerkungen:

Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films. - 39, 3 (2021) , 032401, ISSN: 1520-8559

DOI:

10.1116/6.0000793

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