Epitaxial growth of highly textured ZnO thin films on Si using an AlN buffer layer by atomic layer deposition - Kolhep, Maximilian (Verfasser); Sun, Cheng (Verfasser); Bläsing, Jürgen (Verfasser); Christian, Björn P. (Verfasser); Zacharias, Margit (Verfasser) (Universität, 2021)