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Treffer: Enhanced Conductivity and Microstructure in Highly Textured TiN1−x/c‑Al2O3 Thin Films

Titel:
Enhanced Conductivity and Microstructure in Highly Textured TiN1−x/c‑Al2O3 Thin Films / Alexander Zintler, Robert Eilhardt, Stefan Petzold, Sharath Ulhas, Enrico Bruder, Nico Kaiser, Lambert Alff, Leopoldo Molina-Luna
Beteiligt:
Zintler, Alexander (Verfasser) ; Eilhardt, Robert (Verfasser) ; Petzold, Stefan (Verfasser) ; Ulhas, Sharath (Verfasser); Bruder, Enrico (Verfasser) ; Kaiser, Nico (Verfasser); Alff, Lambert (Verfasser) ; Molina-Luna, Leopoldo (Verfasser) 
Veröffentlicht in:
ACS omega. - Washington, DC : ACS Publications, [2016]-. - Online-Ressource. - ISSN 2470-1343. - (2022), Artikel-ID: 1c05505
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Entstehung:
2022
Format:
E-Artikel
Sprache:
Englisch
DOI:
10.1021/acsomega.1c05505

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