Treffer: Deposition and modelling of lead zirconate titanate thin films on stainless steel for MEMS applications
Titel:
Beteiligt:
Veröffentlicht:
Darmstadt : Universitäts- und Landesbibliothek, 2021
Umfang:
1 Online-Ressource
Format:
Sprache:
Englisch
Hochschulschrift:
Dissertation, Technische Universität Darmstadt, 2021
Anmerkungen:
kostenfrei
Schlagworte:
DOI:
10.26083/tuprints-00019663
Open Access Rechte:
Open Access
CC BY-NC-ND 4.0
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