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ISO-690 (author-date, English)

HEINRICH, Gerrit, GOBSCH, Gerhard, HANNAPPEL, Thomas und FALK, Fritz, 2014. Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption. Ilmenau: TU Ilmenau.

Elsevier - Harvard (with titles)

Heinrich, G., Gobsch, G., Hannappel, T., Falk, F., 2014. Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption. TU Ilmenau, Ilmenau. https://doi.org/urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014000155

American Psychological Association 7th edition

Heinrich, G., Gobsch, G., Hannappel, T., & Falk, F. (ca. 2014). Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption [TU Ilmenau; Cd]. https://doi.org/urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014000155

Springer - Basic (author-date)

Heinrich G, Gobsch G, Hannappel T, Falk F (2014) Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption. TU Ilmenau

Juristische Zitierweise (Stüber) (Deutsch)

Heinrich, Gerrit/ Gobsch, Gerhard/ Hannappel, Thomas/ Falk, Fritz, Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption, Ilmenau 2014.

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