• Direkte Laserablation von dünn...
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*Result*: Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption

*Title*:
Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption / Gerrit Heinrich ; Gutachter: Thomas Hannappel, Fritz Falk ; Betreuer: Gerhard Gobsch
*Author/editor-in-chief*:
Heinrich, Gerrit (Verfasser); Gobsch, Gerhard (Akademischer Betreuer) ; Hannappel, Thomas (Gutachter) ; Falk, Fritz (Gutachter)
*Publication*:
Ilmenau : TU Ilmenau, 2014
*Physical description scale*:
Online-Ressource
*Format*:
*eBook*
*Language*:
*ger*
*Dissertation note*:
Dissertation, Ilmenau, TU Ilmenau, 2014
*Other edition entry*:
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Heinrich, Gerrit. Direkte Laserablation von dünnen, auf Silizium abgeschiedenen Siliziumnitridschichten durch nichtlineare Absorption. - II, 98 Bl., Ill., graph. Darst.
*Subject Added Keywords*:

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