Titel: The conductivity behavior of zinc oxide deposited by atomic layer deposition

Titel:

Beteiligt:

Körperschaft:

Veröffentlicht:

Freiburg : Universität, 2018

Umfang:

Online-Ressource

Format:

E-Book

Sprache:

Englisch

Hochschulschrift:

Dissertation, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, 2018

Schlagworte:

DOI:

10.6094/UNIFR/15245

Treffer: The conductivity behavior of zinc oxide deposited by atomic layer deposition